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    微電子工藝技術(shù)專家，主要從事我國集成電路芯片產(chǎn)業(yè)研究。1952年6月出生于上海市。1987年畢業(yè)于中國科學(xué)院力學(xué)研究所，獲博士學(xué)位。

    2019年當(dāng)選中國工程院院士。